設備簡介：
??該設備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的專用設備，此款設備是快速冷卻卷對卷CVD連續(xù)生長爐，它由高溫生長腔體，三路質(zhì)量流量計氣路系統(tǒng)，真空機組，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放銅箔或纖維絲的密封裝置），收放密封裝置內(nèi)分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點，可以進行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)?；L或者線性材料的連續(xù)生長。（纖維生長工藝，配有纖維張力計，可以通過調(diào)節(jié)電機轉(zhuǎn)速，以便達到纖維連續(xù)進出且受力均勻）
?1.加熱系統(tǒng)
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zui高溫度 |
1200℃ |
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使用溫度 |
≤1100℃ |
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爐膛有效尺寸 |
Φ80mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。） |
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爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
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熱電偶類型 |
K型熱電偶 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫方式 |
30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。 |
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加熱長度 |
200+200+200mm |
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加熱原件 |
電阻絲 |
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供電電源 |
單相，220V，50Hz |
2、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
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連接頭類型 |
雙卡套不銹鋼接頭 |
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標準量程（N2) |
200sccm，500sccm、1000sccm （可根據(jù)用戶要求定制） |
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準確度 |
±1.5%F.S |
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線性 |
±1%F.S |
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重復精度 |
±0.2%F.S |
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響應時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
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工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
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zui大壓力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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顯示 |
4位數(shù)字顯示 |
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工作環(huán)境溫度 |
5~45高純氣體 |
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壓力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止閥 |
Φ6 |
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內(nèi)外雙拋不銹鋼管 |
Φ6 |
3、低真空機組
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空氣相對濕度 |
≤85% |
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工作環(huán)境 |
5℃～40℃ |
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工作電電壓 |
220V±10% ?50~60HZ |
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功率 |
1KW |
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抽氣速率 |
10m3/h |
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極限真空 |
5X10-1Pa |
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工作壓力范圍 |
1.01325X105～1.33X10-2Pa |
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耐壓值 |
0.03MPa |
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容油量 |
1.1L |
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進氣口口徑 |
KF25 |
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排氣口口徑 |
KF25 |
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噪音 |
50dB |
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連接方式 |
采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
