PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍(lán) ，鐵氟龍卡匣 ， 鐵氟龍晶舟盒 ，鐵氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿)，主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
特點(diǎn)
1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿
2.搭配可活動(dòng)把手，用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關(guān)；
5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染
7.化學(xué)性能穩(wěn)定
