上海反應(yīng)釜設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT反應(yīng)釜氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器性能
- 可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
- 可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
- 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 可重復(fù)性：0.2%滿量程
- 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
- 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間