等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下:
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，采用脈沖高頻高壓電源，利用雙介質齒板放電裝置，以尖端放電形式產生等離子體；等離子體能夠在毫秒級的時間內，對廢氣和空氣分子鍵進行轟擊斷裂，產生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產生大量臭氧、原子氧、生態(tài)氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應；活性自由基和臭氧可以有效地破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態(tài)氧能迅速將廢氣分子異味氣體進行分解或還原為低分子無害物質；另外，借助等離子體中的電子和離子的聚合吸附作用，可以對小至亞微米級的細微有機廢氣顆粒物進行有效的吸附沉降處理。
