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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
PECVD開啟式真空管式爐
PECVD開啟式真空管式爐
產(chǎn)品價(jià)格:¥1
上架日期:2018-04-17 09:29:17
產(chǎn)地:江蘇蘇州
發(fā)貨地:蘇州昆山開發(fā)區(qū)六時(shí)涇路28號(hào)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
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詳細(xì)說(shuō)明
    PECVD

     

    設(shè)備介紹: 本設(shè)備是借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)

    要特點(diǎn):

        1、通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。

        2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。

        3、可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。

        4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。

        5、廣泛應(yīng)用于:各種薄膜的生長(zhǎng),如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wú)定型硅(a-Si:H) 等。

    開啟式真空管式爐技術(shù)參數(shù)

    石英管尺寸

    Φ100*L1200mm

    加熱元件

    電阻絲

    測(cè)溫元件

    N型熱電偶

    加熱區(qū)/恒溫區(qū)

    440mm/200mm

    工作溫度

    ≤1100℃

    控溫模式

    PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制

    控溫精度

    ±1℃

    電功率

    AC220V/50HZ/3KW

    質(zhì)量供氣系統(tǒng)

    標(biāo)準(zhǔn)量程

    50-500ml/min

    壓力表測(cè)量范圍

    -0.1Mpa~0.15Mpa

    極限壓力

    3MPa

    針閥

    316不銹鋼

    電功率

    AC220V/50HZ/20W

    響應(yīng)時(shí)間

    氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

    重復(fù)精度

    ±0.2%

    真空系統(tǒng)參數(shù)

    工作電電壓

    220V±10%  50~60HZ

    功率

    400W

    極限真空

    4X10-1Pa

    進(jìn)/氣口口徑

    KF25

    射頻電源

    信號(hào)頻率

    13.56 MHz±0.005%

    功率輸出范圍

    5W-500W

    供電電壓

    單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

    整機(jī)效率

    >=70%

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