FFU是FAN FILTER UNIT的縮寫，中文稱作“風(fēng)機(jī)過濾器單元”，也就是將風(fēng)機(jī)和過濾器組合在一起構(gòu)成自身能提供動(dòng)力的末端凈化設(shè)備。早在上個(gè)世紀(jì)六十年代，美國(guó)新墨西哥州Sandia國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的科學(xué)家們利用HEPA過濾的方法研制成功了層流技術(shù)，其后商用FFU陸續(xù)在美國(guó)一些手術(shù)室及工業(yè)廠房得到廣泛的應(yīng)用。但直到1984年，在亞洲才出現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用FFU的事例（大約有5000臺(tái)）。是什么原因?qū)е翭FU在這么長(zhǎng)的時(shí)間沒有得到廣泛的發(fā)展呢？有三個(gè)問題占主導(dǎo)地位：噪聲較大問題；壓力平衡問題，在很大的靜壓箱里，各不同角落的風(fēng)機(jī)是否能得到均衡的壓力，這在當(dāng)時(shí)也是不能夠得到保證的；維護(hù)問題，F(xiàn)FU本身造價(jià)就比較高，如果它的電機(jī)壽命不能保證的話，更換又會(huì)帶來附加投資。這些都是造成當(dāng)時(shí)的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。
但是這一切，在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65dBA以下，這符合工業(yè)廠房的標(biāo)準(zhǔn)。其次隨著自動(dòng)控制的發(fā)展，監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)各個(gè)角落的靜壓也變得容易起來。最后電機(jī)的壽命隨著技術(shù)的提高也得到了質(zhì)的飛躍。
現(xiàn)在，隨著半導(dǎo)體電子技術(shù)的發(fā)展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級(jí)。這給大規(guī)劃應(yīng)用FFU帶來契機(jī)，而FFU系統(tǒng)本身也有著其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，主要包括以下幾點(diǎn)：
FFU技術(shù)說明 FFU說明書 FFU的作用特點(diǎn):
1．靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。
2．可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
3．負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔靜廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
4、縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
5、減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。
6．節(jié)約空間。相比較RCU+HEPA系統(tǒng)，F(xiàn)FU+DCC+MAU系統(tǒng)占用送風(fēng)靜壓箱內(nèi)較少層高，且基本不占用潔凈室內(nèi)空間。而RCU不論是吊掛在天板上方還是設(shè)置在潔凈室，均占用不少空間。
