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產(chǎn)品簡介
在線尺寸測量
在線尺寸測量
產(chǎn)品價(jià)格:¥1
上架日期:2011-11-24 14:01:20
產(chǎn)地:日本、中國
發(fā)貨地:蘇州
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1套
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詳細(xì)說明

    在線尺寸測量

    高速、高分辨率,同時(shí)保持穩(wěn)定,超精密測量。理想的精密階段,半導(dǎo)體檢驗(yàn)/制造系統(tǒng),以及超精密加工機(jī)。


    ?高分辨率的規(guī)模與信號的波長比光波的干涉儀系統(tǒng)approx138nm,
    ?穩(wěn)定性高,不受濕度,空氣壓力和空氣的擾動
    ?參考點(diǎn)精度:±0.1μ米
    ?準(zhǔn)確度:±0.04μ米或更好(測量長度:40毫米)
    ?完全非接觸式設(shè)計(jì),返回錯誤幾乎是消除。
    ?特殊磁性和真空兼容型號
    ?使用低膨脹玻璃:- 0.7×10 - 6/℃(測量長度:10至420毫米)

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    企業(yè)信息
    蘇州捷士佳自動化設(shè)備有限公司
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    推薦供應(yīng)
    0571-87774297  
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