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產(chǎn)品簡介
Horiba SEC-Z514MGX質(zhì)量流量控制器
Horiba SEC-Z514MGX質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品價格：￥1000
上架日期：2010-11-11 14:00:10
產(chǎn)地：日本
發(fā)貨地：上海
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺
瀏覽量：2116
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詳細(xì)說明
    • 日本HORIBA STEC-Z512MGX
    • 日本HORIBA STEC-Z514MGX
    • 高精度：設(shè)定流量值±1.0%.
      MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償?shù)模?此技術(shù)保證在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測量系統(tǒng)， 并在大量實驗的基礎(chǔ)上，采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
    • 高速響應(yīng)
      SEC-Z500X 使用了最新開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，保證任意兩個設(shè)定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時，PID數(shù)據(jù)將進行自動的調(diào)整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化，實現(xiàn)高速響應(yīng)。
    • 復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
      HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時節(jié)省了時間和成本。
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