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尼康干涉物鏡5X/10X/20X/50X/100X參數

尼康干涉物鏡5X/10X/20X/50X/100X參數

    尼康50X相干涉物鏡有貨
干涉測量鏡頭可用在非接觸光學壓型測量設備上，通過此鏡頭可得到表面位圖和表面測量參數等。也可用來檢測表面粗糙度，測量精度非常高，在一個波長之內。一束光通過分光鏡，可將光直接射向樣品表面和內置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過再結合，就產生了干涉圖案。與Mirau鏡頭比起來，Michelson鏡頭擁有更長的工作距離，更寬的視場和更大的焦深。Mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數值孔徑的場合。采用Nikon200mm鏡筒的話可將鏡頭直接裝配到C接口相機上。



品名型號                                     產品號                          放大率                 數字孔徑(NA)



50xNikon相干測量物鏡               59-314                           50X                     0.55



焦深(μm)                           視場,1/2" 傳感器



0.9                              FOV, 1/2" Sensor)0.13 x 0.10mm



視場, 2/3" 傳感器



(FOV, 2/3" Sensor)

0.18 x 0.13mm



視場，20直徑視場目鏡(mm)0.22



視場，25直徑視場目鏡(mm)0.5



焦距FL (mm)4.0



生產商Nikon



安裝螺紋RMS

分辨能力 (μm)0.5



類型Mirau



重量 (g)150.00



工作距離WD (mm)3.4



干涉物鏡

2.5x 5x 10x 20x 50x 100x
工作距離（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
NA（數值孔徑） 0.055 0.15 0.30 0.45 0.55 0.7
FOV（mm）1 5093×3818 2546×1909 1270×950 637×477 254×190 127×95
空間采樣（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.83 0.33 0.17
光學分辨率 藍光（L&S）（mm）3 2.55 0.93 0.46 0.31 0.25 0.20
光學分辨率 白光（L&S）（mm）3 3.04 1.11 0.56 0.37 0.30 0.24
大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o 42o
垂直分辨率（nm）PSI7
垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT 0.01nm）
垂直分辨率（nm）VSI7 1nm5mm
垂直范圍PSI(mm) 5mm
垂直范圍ePSI(mm) 100mm
垂直范圍VSI(mm) 10mm
掃描速率（mm/s） PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s
一般測量時間（s）9 PSI：3s VSI：10s ePSI：30s