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產品簡介

供應日本VTEX品牌半導體超高鐘擺閥3PV類型漏率低精度高

產品價格：￥7500.00元/件

上架日期：2021-07-30

發(fā)貨地：江蘇蘇州市

供應數(shù)量：不限

最少起訂：1件

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詳細說明

詳細參數(shù)
品牌	日本VTEX	型號	鐘擺閥3PV
材質	不銹鋼	閥瓣開啟高度	全程
驅動方式	氣動	連接形式	法蘭
壓力環(huán)境類型	低壓閥(PN<1.6Mpa)	壓力環(huán)境	高壓
工作溫度區(qū)間	45℃	特殊功能	可以調整電導
外形尺寸	1103445	流動方向	雙向
介質溫度	90℃	適用介質	空氣
流動方向	雙向	類型(通道位置)	直動式
加工定制	否	公稱通徑	160-550
適用范圍	真空設備,半導體行業(yè)	重量	21KG
產地	日本

IPV，3PV，APC類型

·一步到位的精準動作。

·簡單，構成組件少，擁有緊湊型節(jié)省空間的設計。

·標準規(guī)格擁有50萬次動作的設計壽命，高耐久，無需檢修的設計。

·閥體的密封件一律采用O型圈。為降低成本做出貢獻。

·閥體的拆解只需松開1根螺栓即可。

APC控制盒

·搭載可以計算出腔室容積的LEARN功能。

·可實現(xiàn)高速的正確壓力控制，位置控制。

·可同時連接2臺壓力傳感器。

·排氣系列門閥：真空泵－腔室之間的門閥，也有作為控制壓力的閥門使用。

·搬運系列門閥：作為各作業(yè)（晶片或玻璃基板etc）的出入口，用于空氣－腔室之間的隔斷。

半導體?液晶屏制造裝置

用真空門閥的應用案例介紹

Exhaust System Gate Valve

（Penduroll Valve）

·和APCPenduroll閥配合可以實現(xiàn)電導系數(shù)到0的控制。

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昆山迪凱睿機械科技有限公司

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