| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型號 | TGkine1700M,TGkine2200M |
| 輸送介質 | 其他 | 驅動方式 | 電動泵 |
| 介質溫度類型 | 常溫泵 | 材質 | 不銹鋼 |
| 最大出口壓力類型 | 其他 | 葉片式泵葉輪級數 | 其他 |
| 葉片式泵吸入方式 | 其他 | 葉片式泵葉輪形式 | 其他 |
| 葉片式泵殼體型式 | 其他 | 葉片式泵泵軸位置 | 其他 |
| 結構類型 | 離心式 | 顏色 | 白色 其他 |
產品特點：
將電源控制器與分子泵一體化
■省電設計
■輕巧設計
■對應防護等級IP54
■多種通信接口
■對應國際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2
使用場合：
?半導體制造設備
?FPD制造設備
?太陽能電池制造設備
?玻璃/鏡片等光學元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙環(huán)境模擬設備
技術參數：
| 型號※1 | TGkine1700M | TGkine2200M | |
| 吸氣口法蘭 |
ISO-B200 VG200 |
ISO-B250 VG250 |
|
| 排氣口法蘭※2 | KF40/KF50 | ||
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 1650 | 2200 |
|
N2 (附加金屬保護網)(L/s) |
1570 | 2100 | |
| H2 (L/s) | 1550 | 1800 | |
| 最大氣體流量※3、※4 | N2 (sccm) | 4400 | 5000 |
| Ar (sccm) | 2600 | ||
| 最大壓縮比 | N2 | >2×108 | |
| H2 | 3×103 | ||
| 極限壓力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
| (Torr） | <1.5×10-9 | ||
| 最大排氣口壓力※6 | (Pa) | 220 | |
| (Torr） | 1.65 | ||
| 啟動時間 | (min) | ≦10 | |
| 停止時間 | (min) | ≦10 | |
| 輸入電壓 | (V) | AC200-240V | |
| 相數 | 単相 | ||
| 頻率 | (Hz) | 50/60 | |
| 電流 | (A) | Max. 5.3 | |
| 所需電力 | (kVA) | Max. 0.9 | |
| 重量 | (kg） | 65 | 62 |
