| 詳細(xì)參數(shù) |
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我們以高精度測(cè)量和分配光刻膠和其他化學(xué)溶液。 為了優(yōu)化光刻膠滴落量，提高了每次注射的分配精度，并安裝了回吸（可選）以防止光刻膠從放電端掉出。
波紋管內(nèi)部的死體積非常小，該結(jié)構(gòu)可防止液體停滯。 無(wú)密封結(jié)構(gòu)和低速氣缸的使用使光刻膠能夠低速注入光刻膠并防止空氣進(jìn)入光刻膠。
該泵可以以立式或臥式方式安裝（SB-4K/5/6除外），并且可以選擇佳形狀進(jìn)行系統(tǒng)集成。 緊湊的設(shè)計(jì)還為外圍設(shè)備釋放了空間。
此外，還提供帶有機(jī)械塞子的氣瓶，該氣缸可通過(guò)單個(gè)泵控制細(xì)微的排放量，以及帶有傳感器的氣瓶，該傳感器可以可靠地檢查操作。
不銹鋼（SUS304）和氟樹(shù)脂（PTFE、PFA）類型可作為接液材料。 它具有優(yōu)異的耐腐蝕性，不會(huì)污染液體，并且對(duì)于高分辨率、高純度的光刻膠等液體質(zhì)量控制是安全的。
