Physik 壓電納米定位表
Physik 多軸壓電
Physik PI多軸壓敏儀允許在多達6個軸上以亞納米級精度進行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉(zhuǎn)方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設(shè)計，有許多變體可供選擇。
Physik XYZ 掃描儀是定位技術(shù)的通用工作臺。它們的應(yīng)用包括樣品定位、光學(xué)計量、光纖定位和光子學(xué)或原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統(tǒng)均經(jīng)過工廠測試，并帶有測量協(xié)議的預(yù)設(shè)交付。
Physik XYZ 壓電立方體緊湊型
Physik P-616 納米立方體納米定位器
用于納米定位和光纖調(diào)整的緊湊型并聯(lián)運動壓電系統(tǒng)
并聯(lián)運動設(shè)計，在所有空間方向上實現(xiàn)大剛性
高共振頻率，負載高達100 g的高動態(tài)運動
通過單一、靈活的安裝平臺實現(xiàn)創(chuàng)新產(chǎn)品設(shè)計
市場上唯一具有ID芯片功能的納米定位器
市場上小、輕的納米立方體，行程為 100 μm
應(yīng)用
光纖定位和對準
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)和納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
Physik P-616.3C
PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命
獲得專有的PICMA 壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。
帶電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行非接觸式測量。它們保證了出色的機芯線性度、高長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
通過無間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實現(xiàn)高導(dǎo)向精度
固態(tài)接頭導(dǎo)軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
自動配置和快速組件更換
機械裝置和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-Sub連接器的ID芯片中。每次控制器打開時，數(shù)字控制器的自動校準功能都會自動使用此數(shù)據(jù)。
通過平行運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作
在并聯(lián)運動多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用于一個公共平臺。小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計允許快速、動態(tài)和精確的運動。
Physik P-611.3 納米立方體XYZ系統(tǒng)
緊湊型多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖調(diào)整
XYZ 帶光圈的 Piezotic
行程可達 120 μm × 120 μm × 120 μm
超緊湊：44 mm × 44 mm × 44 mm
分辨率高達 0.2 nm
快速響應(yīng)
無間隙和高精度固態(tài)導(dǎo)軌
通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命
用于快速掃描
帶集成光纖支架的版本
特別具有成本效益的系統(tǒng)
應(yīng)用
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
生物工藝學(xué)
半導(dǎo)體測試
光纖定位
通過無間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實現(xiàn)高導(dǎo)向精度
固態(tài)接頭導(dǎo)軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運行。
PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命
獲得專有的PICMA壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。
Physik P-611.3S
Physik P-611.3SF
Physik P-611.3O
Physik P-611.3OF
Physik P-733.3 XYZ 壓電納米定位器
帶孔徑的高精度XYZ掃描儀
行程可達 120 μm × 120 μm × 120 μm
超緊湊：44 mm × 44 mm × 44 mm
分辨率高達 0.2 nm
快速響應(yīng)
無間隙和高精度固態(tài)導(dǎo)軌
通過PICMA壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命
用于快速掃描
帶集成光纖支架的版本
特別具有成本效益的系統(tǒng)
應(yīng)用
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
生物工藝學(xué)
半導(dǎo)體測試
光纖定位
通過無間隙固態(tài)接頭導(dǎo)向裝置實現(xiàn)高導(dǎo)向精度
固態(tài)接頭導(dǎo)軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內(nèi)運行。
PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命®
獲得專有的PICMA壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經(jīng)過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。
Physik P-733.3CD
Physik P-733.3CL
Physik P-733.3DD
