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• 運(yùn)行室中的專用初始慢速填充可以實(shí)現(xiàn)理想的流體動力學(xué)，從而保留敏感的微型設(shè)備。
• 通過可接近的部件，包括外部吹掃后過濾器組件，維護(hù)變得容易。
• “渦流”技術(shù)：非機(jī)械攪拌室，允許流體動態(tài)交換，無需產(chǎn)生顆粒的摩擦裝置。
• 集成閉合冷卻回路可快速降低腔室溫度，縮短工藝運(yùn)行時(shí)間。
• 內(nèi)部SOTER（tm）冷凝器安靜地捕獲并分離二氧化碳廢氣和廢酒精。
• 腔室插入件可實(shí)現(xiàn)腔室內(nèi)徑的變化，更大限度地提高LCO2消耗效率、工藝時(shí)間，并提供多種尺寸的晶圓工藝能力。
• 處理室LCO2過濾至0.08μm，顆粒保留率達(dá)到99.999%+。
• 每次運(yùn)行可處理五個(gè)8“（200mm）晶圓。包括以下HF兼容晶圓夾：8”（200mm）、6”（150mm）、4”（100mm）、3”（75mm）、2”（50mm）和10mm模具夾。
• 通過觀察窗口實(shí)現(xiàn)腔室照明，有助于腔室狀態(tài)可視化。
• 自動處理與工廠默認(rèn)配方或自定義自己的能力。
• 所有內(nèi)表面對二氧化碳和超純醇都是惰性的。
• 可重復(fù)的操作參數(shù)，確保結(jié)果的“再現(xiàn)性”。
• 操作功能集成在溫度和壓力自動調(diào)節(jié)中。
• 潔凈室無靜電兼容設(shè)計(jì)。

8760-03：8“工藝室用KNURL螺母

8760-41：適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的3A保險(xiǎn)絲

8760-42：適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的8A保險(xiǎn)絲

8770-13：LED室燈，120V

8770-32：高壓軟管，5英尺

8770-33：高壓軟管，10英尺

8770-80：4“工藝腔室的腔室蓋

8785：雙T形過濾器組件

8770-83B：用于LCO2 T型過濾器或外部吹掃管線過濾器的0.5μm不銹鋼顆粒過濾器元件。

8784-05：LCO2儲罐連接墊片

8770-51T/916B：AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型環(huán)

8770-48：流量計(jì)-與Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B（180 SCFH）一起使用

8770-54：LCO2油箱秤，帶遠(yuǎn)程顯示器

8768H：8“-200毫米HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768A：6“-150mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768F：5“-125mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768B：4“-100mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768C：3“-75mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768D：2“-50mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768G：1“-25mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768E：10mm方形HF兼容芯片支架，可容納5個(gè)芯片