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產(chǎn)品簡介
TOUSIMIS臨界點(diǎn)干燥器Automegasamdri-938
產(chǎn)品價(jià)格:¥1.00元/個(gè)
上架日期:2023-10-07
發(fā)貨地:上海 嘉定區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1個(gè)
瀏覽量:87
詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌其他型號TOUSIMIS臨界點(diǎn)干燥器Automegasam
    類型其他電源類型充電式-鎳鎘技術(shù)
    額定電壓其他外形尺寸其他
    加工定制顏色其他
    • 運(yùn)行室中的專用初始慢速填充可以實(shí)現(xiàn)理想的流體動力學(xué),從而保留敏感的微型設(shè)備。
    • 通過可接近的部件,包括外部吹掃后過濾器組件,維護(hù)變得容易。
    • “渦流”技術(shù):非機(jī)械攪拌室,允許流體動態(tài)交換,無需產(chǎn)生顆粒的摩擦裝置。
    • 集成閉合冷卻回路可快速降低腔室溫度,縮短工藝運(yùn)行時(shí)間。
    • 內(nèi)部SOTER(tm)冷凝器安靜地捕獲并分離二氧化碳廢氣和廢酒精。
    • 腔室插入件可實(shí)現(xiàn)腔室內(nèi)徑的變化,更大限度地提高LCO2消耗效率、工藝時(shí)間,并提供多種尺寸的晶圓工藝能力。
    • 處理室LCO2過濾至0.08μm,顆粒保留率達(dá)到99.999%+。
    • 每次運(yùn)行可處理五個(gè)8“(200mm)晶圓。包括以下HF兼容晶圓夾:8”(200mm)、6”(150mm)、4”(100mm)、3”(75mm)、2”(50mm)和10mm模具夾。
    • 通過觀察窗口實(shí)現(xiàn)腔室照明,有助于腔室狀態(tài)可視化。
    • 自動處理與工廠默認(rèn)配方或自定義自己的能力。
    • 所有內(nèi)表面對二氧化碳和超純醇都是惰性的。
    • 可重復(fù)的操作參數(shù),確保結(jié)果的“再現(xiàn)性”。
    • 操作功能集成在溫度和壓力自動調(diào)節(jié)中。
    • 潔凈室無靜電兼容設(shè)計(jì)。

    可選功能與配件

    8760-03:8“工藝室用KNURL螺母

    8760-41:適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的3A保險(xiǎn)絲

    8760-42:適用于Autosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的8A保險(xiǎn)絲

    8770-13:LED室燈,120V

    8770-32:高壓軟管,5英尺

    8770-33:高壓軟管,10英尺

    8770-80:4“工藝腔室的腔室蓋

    8785:雙T形過濾器組件

    8770-83B:用于LCO2 T型過濾器或外部吹掃管線過濾器的0.5μm不銹鋼顆粒過濾器元件。

    8784-05:LCO2儲罐連接墊片

    8770-51T/916B:AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型環(huán)

    8770-48:流量計(jì)-與Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B(180 SCFH)一起使用

    8770-54:LCO2油箱秤,帶遠(yuǎn)程顯示器

    8768H:8“-200毫米HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

    8768A:6“-150mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

    8768F:5“-125mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

    8768B:4“-100mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

    8768C:3“-75mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

    8768D:2“-50mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

    8768G:1“-25mm HF兼容晶圓架,容納5個(gè)晶圓

    8768E:10mm方形HF兼容芯片支架,可容納5個(gè)芯片

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