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Oerlikon Leybold 油封真空泵用于真空工程的領(lǐng)域，同樣適用于工業(yè)生產(chǎn)和研究應(yīng)用。
 
Leybold 油封真空泵因其可靠性、低成本和成熟的技術(shù)而受到青睞。使用機油可實現(xiàn)更高的壓縮比和更好的內(nèi)部冷卻性能。油封真空泵在食品、熱處理、涂層等惡劣應(yīng)用中的性能得到了證明，在質(zhì)譜等長周期應(yīng)用中的可靠性也得到了證明。
 
在各種真空泵技術(shù)中，旋片泵被認為是容積泵。這些泵通過機械捕獲一定量的氣體并將其移動通過泵來工作，從而在入口側(cè)產(chǎn)生低壓。
 
它們通常被稱為“濕”泵，因為泵送的氣體暴露在油中，油用作潤滑劑以實現(xiàn)較低的極限壓力。該油經(jīng)過精心挑選，專為應(yīng)用而設(shè)計。
 

旋片真空泵有單級和兩級兩種版本。兩級泵的極限壓力低于單級泵。

Oerlikon Leybold 渦輪分子真空泵
機械、混合和磁懸浮高真空泵
渦輪分子真空泵用于需要清潔高真空或超高真空的應(yīng)用，例如核聚變的研究與開發(fā)，或涂層工業(yè)和分析儀器等工業(yè)領(lǐng)域。

原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪機，其中渦輪機的級裝有多個轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是固定的定子盤，其葉片以相反的方向排列。

通過從旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動量傳遞，氣體分子開始非定向熱運動轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋玫娜肟诜ㄌm沿軸向前真空法蘭的方向運動。
在分子流動范圍內(nèi)（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為零點幾毫米）。相應(yīng)地，分子主要與光學致密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，從而產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內(nèi)（即壓力超過 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉(zhuǎn)子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。

因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下泵送氣體。

Oerlikon Leybold TURBOVAC i
模塊化渦輪分子真空泵系列，抽速從 90 到 1450 l/s。

Leybold TURBOVAC 90 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 83 升/秒
抽速： 90 升/秒

Leybold TURBOVAC 350 i/iX
5 種變體
抽速 （Ar）： 260 升/秒
抽速： 360 升/秒

Leybold TURBOVAC 450 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 400 升/秒
抽速： 440 升/秒

Leybold TURBOVAC 250 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 210 升/秒
抽速： 250 升/秒

Leybold TURBOVAC 850 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 655 升/秒
抽速： 850 升/秒

Leybold TURBOVAC 450 iR
2 種變體

Leybold TURBOVAC 950 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 840 升/秒
抽速： 925 升/秒

Leybold TURBOVAC 850 iR
2 種變體

Leybold TURBOVAC 1450 i
8 種變體
抽速 （Ar）： 1280 升/秒
抽速： 1390 升/秒

Leybold TURBOVAC 1350 i
8 種變體
抽速 （Ar）： 1150 升/秒
抽速： 1350 升/秒

Leybold TURBOVAC 90 iR
3 種變體

Leybold TURBOVAC 950 iR
2 種變體

Leybold TURBOVAC 350 iR
2 種變體

Leybold TURBOVAC 250 iR
2 種變體