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產(chǎn)品簡介
金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品價格:¥9980.00元/臺
上架日期:2022-07-05
發(fā)貨地:北京 朝陽區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
瀏覽量:841
詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌ALICAT型號MC-500SCCM-D
    原理質(zhì)量流量計用途氣體流量計
    工作壓力50適用介質(zhì)氣體
    工作溫度0-50測量范圍0-1000
    精度等級1測量精度1
    安裝形式參考說明流量范圍1-1000
    加工定制外形尺寸
    金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器,能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟的氣體流量控制方案。專為原始設(shè)備制造商(OEM)無應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計的輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特特有的快速閥門控制。
    • 可靠。氣體質(zhì)量流量控制器絕不會讓您感到失望,NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時仍像第一天一樣。
    • 靈敏。您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。氣體質(zhì)量流量控制器具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的控制速度和閥門調(diào)節(jié),能帶給用戶的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。
    • 兼容。氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當(dāng)廣,輕便靈巧、多氣體標(biāo)定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項目設(shè)計提供更大的靈活性。


    金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器性能

    • 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(參見零件編號標(biāo)簽)
    • 可調(diào)比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
    • 校準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程)
    • 可重復(fù)性:0.5%滿量程
    • 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù):100ms(可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié))
    • 預(yù)熱時間:70ms,達到完整精度



    金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器工作條件

    • 兼容氣體:空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮(可通過串行連接選擇氣體);訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)(僅使用一種氣體)
    • 工作溫度:0°C至+50°C
    • 內(nèi)部壓力(靜態(tài)):對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
    • 耐受壓力:175 psig(190 psia)
    • STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)

    金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器包裝清單


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