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產(chǎn)品簡介

金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品價格：￥9980.00元/臺

上架日期：2022-07-05

發(fā)貨地：北京朝陽區(qū)

供應(yīng)數(shù)量：不限

最少起訂：1臺

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詳細(xì)說明

詳細(xì)參數(shù)
品牌	ALICAT	型號	MC-500SCCM-D
原理	質(zhì)量流量計	用途	氣體流量計
工作壓力	50	適用介質(zhì)	氣體
工作溫度	0-50	測量范圍	0-1000
精度等級	1	測量精度	1
安裝形式	參考說明	流量范圍	1-1000
加工定制	是	外形尺寸	是

金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器，能為用戶提供可重復(fù)、可靠、經(jīng)濟的氣體流量控制方案。專為原始設(shè)備制造商（OEM）無應(yīng)力設(shè)備集成而設(shè)計的輕便靈巧、內(nèi)置高精度MEMS傳感器、并具有艾里卡特特有的快速閥門控制。

可靠。氣體質(zhì)量流量控制器絕不會讓您感到失望，NIST可溯源的精度與重復(fù)性使其在工作第700天時仍像第一天一樣。
靈敏。您不會再因為壓力峰值而毀了一整天。氣體質(zhì)量流量控制器具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的控制速度和閥門調(diào)節(jié)，能帶給用戶的益處將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出預(yù)期。
兼容。氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用范圍相當(dāng)廣，輕便靈巧、多氣體標(biāo)定、模擬及數(shù)字雙重通訊將為您的項目設(shè)計提供更大的靈活性。

金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器性能

可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
可重復(fù)性：0.5%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
預(yù)熱時間：70ms，達到完整精度

金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器工作條件

兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)（僅使用一種氣體）
工作溫度：0°C至+50°C
內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）

金剛石提純設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT質(zhì)量流量控制器包裝清單

BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書
艾里卡特操作說明書

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