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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器
產(chǎn)品價(jià)格:¥7980.00元/臺(tái)
上架日期:2022-07-01
發(fā)貨地:北京 朝陽(yáng)區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
瀏覽量:200
詳細(xì)說(shuō)明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌ALICAT型號(hào)MC-100SCCM-D
    原理質(zhì)量流量計(jì)用途氣體流量計(jì)
    工作壓力30適用介質(zhì)氣體
    工作溫度0-50測(cè)量范圍1-500
    精度等級(jí)1測(cè)量精度1
    安裝形式參考說(shuō)明書(shū)流量范圍0-500
    加工定制外形尺寸

    氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

    型號(hào)變體

    • 低壓損型號(hào),最多60 psia(MCW系列
    • 高壓型號(hào),160-320 psia(MCQ系列
    • 閥門(mén)內(nèi)置(確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致)型號(hào)(MCE系列
    • 配備氣動(dòng)截止閥的型號(hào),適合真空應(yīng)用(MCV系列
    • 腐蝕性氣體型號(hào)(MCS系列,見(jiàn)下文)

    氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

    閥門(mén)選項(xiàng)

    您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門(mén),以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持性能。

    • MC系列—選配小型比例控制閥,適用于20 slpm及以下量程
    • 具有PCA名稱(chēng)的MC系列—選配高性能比例控制閥,適用于壓力較高的某些應(yīng)用
    • MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥(對(duì)耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用)
    • MCH系列—選配錘頭狀配置,將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì),用作一個(gè)閥門(mén)。
    • MCR系列—選配幾乎無(wú)摩擦的大型Rolamite比例閥,適用于50 slpm及以上流量

    腐蝕性氣體(MCS系列)

    MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中,還有適用于腐蝕性氣體的“S”系列配置(即MCS系列)可供選擇。該配置中,我們將閥門(mén)升級(jí)為303不銹鋼閥門(mén),傳感器升級(jí)為316L不銹鋼傳感器,彈性體材料升級(jí)為FFKM。對(duì)于某些腐蝕性氣體的整個(gè)流程,需采用316L不銹鋼,在這種情況下,我們可以同時(shí)將滿量程為20slpm或更小流量計(jì)的閥門(mén)(PCA型)和流量?jī)x表主體部分升級(jí)為316L材質(zhì)。

    結(jié)構(gòu)選項(xiàng)


    • 通訊協(xié)議(模擬通訊,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
    • 顯示屏(單色或彩色,內(nèi)置或面板安裝)
    • 工藝連接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭)
    • 彈性體材料(氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹(shù)脂)

    氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器

    性能選項(xiàng)

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