氧氣流量100SCCM氧氣質(zhì)量流量控制器 ALICATMC-100SCCM-D-O2氣體流量控制器
型號(hào)變體
- 低壓損型號(hào),最多60 psia(MCW系列)
- 高壓型號(hào),160-320 psia(MCQ系列)
- 閥門(mén)內(nèi)置(確保與SEMI端口長(zhǎng)度一致)型號(hào)(MCE系列)
- 配備氣動(dòng)截止閥的型號(hào),適合真空應(yīng)用(MCV系列)
- 腐蝕性氣體型號(hào)(MCS系列,見(jiàn)下文)
