濟南千斗工業(yè)科技有限公司
W-357-1MQG-SKC 石英振動體式清洗機日本本多
晶圓清洗更精細，損傷小 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，對半導(dǎo)體晶圓進行清洗 。零件振動，其加速度會清除表面的污垢。 ■ 實現(xiàn)對半導(dǎo)體晶片的損傷少的清潔清洗 與 化學(xué)品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設(shè)備相比，沒有橡膠溶出或磨損，可以進行清潔清洗。 ■ 由于具有振蕩器冷卻功能，通過氣體（氮氣等）冷卻振蕩器，可以穩(wěn)定地連續(xù)運行而不會發(fā)生頻率波動。 此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。
去除抗蝕劑殘留物 磨邊和灰化后去除聚合物 柵電極清洗 CMP 后清洗
■ 振蕩器
● 可變輸出范圍：0W 至 12W（振動體的允許輸入：使用空氣吹掃進行振蕩器冷卻時連續(xù) 10W） ● 周圍環(huán)境：溫度：15 至 35°C，濕度：10 至 85% ● 外部驅(qū)動器觸點額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)） 接點輸入：DC12V 16mA 以上 警報輸出（儀器） 接點容量：DC24V 0.5A ■ 附屬電纜：電源線（100V 2m / 200V 3m）、控制線（5m）x4
■ 振動體
● 工作液體溫度范圍：20 至 50 ℃ ● 振蕩器：PZT ● 材料：振動體：石英玻璃，包裝：硅橡膠，外殼：PCTFE ● 線長：輸出線1.5m + 繼電器線3.5m ● 空氣凈化接頭：兼容管子（外徑φ6）
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