性能
- 可用量程：0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
- 可調(diào)比：200:1（MC系列）
- 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
- 可重復性：0.2%滿量程
- 標準控制器響應時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
- 無需預熱時間
| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | ALICAT | 型號 | MC-100SCCM-D |
| 原理 | 質(zhì)量流量計 | 用途 | 氣體流量計 |
| 工作壓力 | 50 | 適用介質(zhì) | 氣體 |
| 工作溫度 | 0-50 | 測量范圍 | 1-1000 |
| 精度等級 | 1 | 測量精度 | 1 |
| 安裝形式 | 參考說明書 | 加工定制 | 是 |
| 外形尺寸 | 是 | ||
艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器快速、精準地確定穩(wěn)定的流量。與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達其設定值，使其能夠抑制管線壓力波動，因而不會影響您的過程下游。定制化閥門選配項和出廠PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應用中具備良好性能。
基于壓力的質(zhì)量流量儀表的性能：
性能
包裝清單