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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
KOFLOC DF-550C數(shù)字質(zhì)量流量控制器 半導(dǎo)體工藝氣體提取高純多晶硅質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品價(jià)格:¥8900.00元/臺(tái)
上架日期:2022-06-23
發(fā)貨地:北京 朝陽(yáng)區(qū)
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
瀏覽量:2590
詳細(xì)說明
    詳細(xì)參數(shù)
    品牌KOFLOC型號(hào)DF-550C
    原理質(zhì)量流量計(jì)用途氣體流量計(jì)
    工作壓力500kPa(G)適用介質(zhì)氣體
    工作溫度0-50測(cè)量范圍10SCCM~10SLM
    精度等級(jí)1%測(cè)量精度1%
    安裝形式推薦水平方向流量范圍10SCCM~10SLM
    加工定制外形尺寸

    KOFLOC DF-550C數(shù)字質(zhì)量流量控制器 半導(dǎo)體工藝氣體提取高純多晶硅質(zhì)量流量控制器高性能數(shù)字MFC“DF-250C系列”的全金屬型號(hào)“DF-550C”發(fā)布!
    金屬密封結(jié)構(gòu)可以測(cè)量和控制半導(dǎo)體工藝氣體和其他腐蝕性氣體。

    • 通過新型螺線管改善響應(yīng)速度,在所有流量區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1秒以內(nèi)高速響應(yīng)
    • 不銹鋼密封使其支持高活性氣體
    • 10SCCM~10SLM序列
    • 可通過2個(gè)通信端口進(jìn)行菊花鏈連接
    • 配備RS-485通訊功能標(biāo)準(zhǔn)
    • 支持RoHS.CE規(guī)格

    KOFLOC DF-550C數(shù)字質(zhì)量流量控制器 半導(dǎo)體工藝氣體提取高純多晶硅質(zhì)量流量控制器 DF-550C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

    傳感器方式 熱繞組傳感器
    閥門方式 比例電磁閥(未通電時(shí)關(guān)閉)
    目標(biāo)氣體(* 1) N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
    (未記載的氣體換算成N2進(jìn)行校正)
    流量范圍(* 2) 10 SCCM~10 SLM
    控制范圍 2~100%(F.S.)
    響應(yīng)能力 總流量控制范圍 1sec內(nèi)(wihtin±2%F.S.)
    L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
    精度(* 3) ±1.0%F.S.
    再現(xiàn)性 ±0.25%F.S.
    工作壓差(* 4) 50~350 kPa(F.S.10 SLM:100~350 kPa)
    入口壓力 500kPa(G)
    耐壓 980kPa(G)
    He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
    溫度 使用溫度 5~50℃
    精度保證溫度 15~35℃
    允許儲(chǔ)存溫度 -10~60℃
    允許環(huán)境濕度 10~90%RH (無結(jié)露)
    氣體接觸材料 SUS316L,磁性不銹鋼,PTFE,Ni-Co
    電氣連接 D-sub 9針KFC Standard(依據(jù)SEMI standard),RJ-45模塊化插孔x 2
    流量設(shè)定信號(hào) 0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
    流量輸出信號(hào) 0~5 VDC(負(fù)載電阻10kΩ以上)
    數(shù)字通信 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址:最多99臺(tái)(9600 bps)
    所需電源(DC) +15 VDC(±5%):150 mA,-15 VDC(±5%):150 mA
    接頭 相當(dāng)于1/4 VCR
    安裝姿勢(shì) 推薦水平方向
    重量(* 9) 約1100g

    (* 1)應(yīng)為干燥氣體,無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。

    (* 2)流量校準(zhǔn)單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個(gè)大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

    (* 3)對(duì)于流量范圍(滿量程)的精度。

    (* 4)工作壓差可能因規(guī)格而異。

    KOFLOC DF-550C數(shù)字質(zhì)量流量控制器 半導(dǎo)體工藝氣體提取高純多晶硅質(zhì)量流量控制器尺寸圖

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