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PI 直線執(zhí)行器和平臺(tái)P-753 LISA系列詳情

應(yīng)用領(lǐng)域
掃描顯微鏡
測(cè)量技術(shù)
測(cè)試程序和質(zhì)量保證
光子學(xué)
光纖定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，無需接觸。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。

直接位置測(cè)量帶來的精度
運(yùn)動(dòng)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上直接測(cè)量，不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟娜魏斡绊?。這可以實(shí)現(xiàn)的可重復(fù)性、出色的穩(wěn)定性以及剛性、快速響應(yīng)的控制。

PICMA ®直接驅(qū)動(dòng)帶來更高的剛度和動(dòng)力
采用 PICMA® 直接驅(qū)動(dòng)的壓電納米定位器沒有機(jī)械平移。這允許在壓電驅(qū)動(dòng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)速度以及盡可能高的剛度和動(dòng)態(tài)。

PICMA ®壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受因漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。證明了 1000 億次循環(huán)而沒有一次故障。

零間隙撓性導(dǎo)軌帶來高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌無需維護(hù)、摩擦和磨損，也不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是 真空兼容的，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作不需要潤滑劑或油脂。不含聚合物的壓電系統(tǒng)允許特別低的釋氣率。

動(dòng)態(tài)穩(wěn)定的位置
導(dǎo)向平臺(tái)和執(zhí)行器同時(shí)進(jìn)行
行程范圍達(dá) 38 μm
分辨率 0.1 納米
提供非磁性版本
由于直接驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)速度特別快
電容式傳感器帶來的線性度

PI 直線執(zhí)行器和平臺(tái)P-753 LISA系列詳情