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PI 微型線性平臺Q-521 Q?Motion

具有位置控制、高分辨率和實惠價格的小線性平臺
只有 21 毫米寬和 10 毫米高
使用集成增量編碼器進行直接位置測量
編碼器分辨率高達 1 nm
小增量運動高達 2 nm
帶轉(zhuǎn)接板或支架的多軸系統(tǒng)設置（可選）

壓電慣性驅(qū)動
壓電慣性驅(qū)動器是一種節(jié)省空間且價格合理的壓電驅(qū)動器，具有相對較高的保持力和幾乎無限的行程范圍。慣性驅(qū)動原理基于單個壓電執(zhí)行器，該執(zhí)行器由特殊驅(qū)動器電子設備提供的修改后的鋸齒電壓控制。執(zhí)行器緩慢膨脹并移動流道。由于其慣性，轉(zhuǎn)輪無法跟隨致動器隨后的快速收縮并保持在其位置。工作頻率高達 20 kHz，驅(qū)動器直接作用于轉(zhuǎn)輪并達到速度。6 毫米/秒。

應用領域
微組裝。光子學。光學對準。顯微鏡。光束線儀器。半導體技術。測試。

直測原理
線性平臺配備了非接觸式測量光學線性編碼器和參考開關。分辨率 4 nm 或 1 nm，取決于版本。

PI 微型線性平臺Q-521 Q?Motion