島津是領先的渦輪分子泵（TMP）制造商之一。島津TPM主要用于為制造半導體器件、太陽能電池和平板顯示器提供不可或缺的高真空環(huán)境。
島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準的氣體吞吐量和抽氣速度，可滿足日益嚴格的半導體制造的工藝需求。例如，使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導體薄膜。

通過渦輪機的高速旋轉產(chǎn)生真空環(huán)境，TMP的抽真空效果已達到分子流級。制造半導體和平板顯示器需要清潔、無油的真空環(huán)境，以保持出色的設備操作狀態(tài)。島津提供的技術性能、可靠性和全球技術支持網(wǎng)絡使島津TMP成為這類應用領域中不可或缺的組成部分。島津生產(chǎn)多陣容TMP產(chǎn)品系列。各系列產(chǎn)品具有不同的用途。

除溫度控制功能和特殊耐腐蝕涂層外，具備高氣體吞吐量的TMP-2404/3304/4304系列的抽速范圍為2100 L/s至4400 L/s，具有潛在的多種應用領域。
外形緊湊節(jié)能型TMP-X1605/V2304系列中的每一種型號的TMP均具備集成電源組件，其功耗比具有獨立電源組件的型號低15 ％。
除集成電源外，TMP-X3405/X4304系列還具備溫度控制功能和耐腐蝕涂層，能滿足制造半導體和平板顯示器（FPD）中對工藝流程的嚴格要求。
此外，TMP-203至1003系列的眾多產(chǎn)品還具備出色的壓縮比和極限壓力水平，可實現(xiàn)高真空。

而且，TMP-5305系列具有5300 L/s的高級別氣體吞吐和抽氣速度，預計可用于下一代450 nmm半導體晶圓加工。
島津制作所半導體儀器事業(yè)部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示：“目前，我們在磁懸浮TMP領域已經(jīng)占領了30 %的全球市場份額?！薄皪u津TMP在全球的普及反映了我們?yōu)闈M足不斷變化的行業(yè)需求而提供的創(chuàng)新設計和全球技術支持的歷史?！?br /> 事實上，島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級計算機設計而成的。太田知男說：“島津工程師使用了尖端建模技術來模擬TMP性能?！薄拔覀兯械纳逃肨MP系統(tǒng)均在島津內部制造完成。通過這種方式，我們確保了產(chǎn)品的質量和性能?！?

新型TMP具備更新的軸承結構，適用于下一代應用領域

2014年，島津推出了具備創(chuàng)新設計的TMP-B300“混合軸承”渦輪分子泵系列，該系列可應用于質譜儀和掃描電子顯微鏡等需要生成超高真空的分析科學研究領域。TMP-B300系列主要針對分析科學應用和通用設備的小型TMP市場開發(fā)而成，該領域的市場規(guī)模為1.5億美元。

在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學應用中，TMP的性能必須滿足嚴格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。