日本山田Yamada 高強度鹵素光源裝置 YP-150I
高強度鹵素光源設備是一種 用于宏觀觀察的照明設備,用于檢測
最終表面上的
各種缺陷,例如異物,劃痕,拋光不均勻,霧度,打滑等,這是半導體晶圓和液晶基板加工過程中最常見的人造缺陷。 。
1.樣品表面可以照到400,000Lx或更高。
2.由于使用鹵素燈作為光源,因此色溫高,照明不均少,照明
非常穩(wěn)定且清晰。
3.通過使用冷鏡,熱效應大大
降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3 。
4.通過兩段式切換機構,
可以一鍵切換高照度觀察和低照度觀察。
YP-150I ? ? ?照度范圍φ30YP-250I ? ?
?照度范圍φ60
(YP-250I可以選擇螺旋槳式和風管式)