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清華大學(xué)仿生石墨烯壓力傳感器研究取得重要進展
發(fā)布者:上海自動化儀表有限公司商城  發(fā)布時間:2021-01-06 12:21:29
  1月29日,清華大學(xué)微電子系任天令教授團隊在《美國化學(xué)學(xué)會·納米》(ACS Nano)上發(fā)表了題為《仿生針刺隨機分布結(jié)構(gòu)的高靈敏度和寬線性范圍石墨烯壓力傳感器》(Epidermis Microstructure Inspired Graphene Pressure Sensor with Random Distributed Spinosum for High Sensitivity and Large Linearity)的研究成果,由人體皮膚感知微結(jié)構(gòu)出發(fā)提出相似的仿生結(jié)構(gòu),通過微結(jié)構(gòu)和分布模式的結(jié)合解決了靈敏度和線性范圍之間的矛盾,為力學(xué)器件性能的綜合提升提供了一種全新的思路。       近年來,柔性力學(xué)微納傳感器特別是在人體生理信息監(jiān)測和檢測方面成為學(xué)術(shù)界的研究熱點,同時也有大量相關(guān)產(chǎn)業(yè)公司相繼成立。相比于傳統(tǒng)的硅基器件,由于具有舒適性、貼合性和可穿戴性等方面的特點而廣泛應(yīng)用于人體物理和化學(xué)活動的監(jiān)測,但作為力學(xué)器件的兩個重要指標(biāo)靈敏度和線性度之間的矛盾一直未能得到很好的解決。通常制備出的器件都需要以犧牲一個指標(biāo)而為提升另一個指標(biāo)服務(wù),這往往限制了其實際應(yīng)用的范圍,解決這一矛盾成研究難點。     任天令課題組基于人體皮膚,特別是指尖對于不同大小應(yīng)力的高靈敏響應(yīng)特點,根據(jù)對其微結(jié)構(gòu)的研究提出了相似結(jié)構(gòu)的制備。通過砂紙作為模板倒模成型柔性的基底,利用氧化石墨烯在高溫下還原后作為力學(xué)敏感層,制備出具有針刺形貌和隨機分布的壓力傳感器。該傳感器表現(xiàn)出優(yōu)異的穩(wěn)定性、快速響應(yīng)和低探測極限,實現(xiàn)了在更寬線性測量范圍的高靈敏度。其中針刺結(jié)構(gòu)之間接觸面積突變主要貢獻出高的靈敏度,隨機分布主要貢獻寬的線性范圍,通過兩者結(jié)合在很大程度上解決了這一對矛盾。     正是由于該傳感器高的靈敏度和寬線性范圍,課題組成功了應(yīng)用于對人體各種生理活動的監(jiān)測,例如脈搏、呼吸和聲音識別,還實現(xiàn)對走、跑、跳等走路姿態(tài)的監(jiān)控,以及對走路步態(tài)的監(jiān)測。利用可穿戴的高性能力學(xué)傳感器對人體各種生理活動參數(shù)的獲取將會在個人健康和醫(yī)療方面具有重要的實際意義,具有重大的應(yīng)用前景。     該研究成果得到了國家自然基金重點項目和科技部項目的支持。
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